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マスフローメーター（以下MFM）、マスフローコントローラー(以下MFC、MFMやMFCの総称としてマスフロー) の中で、究極の質量流量計としてDeco推しておりますコリオリ式マスフローが最近日本でもようやくブレイクし始めました。
それはなぜでしょうか？

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それはなぜでしょうか？
今週もコリオリ式流量計に関する復習です。

マスフローメーター（以下MFM）、マスフローコントローラー(以下MFC、MFMやMFCの総称としてマスフロー) の中で、究極の質量流量計としてDeco推しておりますコリオリ式マスフローが最近日本でもようやくブレイクし始めました。
それはなぜでしょうか？
今回は、コリオリ式流量計の測定原理に関する復習から始めます。

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マスフローコントローラー（MFC）やマスフローメーター（MFM、MFC＆MFMの総称をマスフローとします）をアナログ信号で制御信号を送ったり、流量信号を取り込むというやり取りは日本ではまだ根強いのですが、EUではほとんど使われなくなっているそうです。

「MFCの校正証明書が必要なんです。」というお問い合わせを頂きます。
例えばオランダのブロンコスト（BronkhorstHigh-Tech B.V.）製品の場合、校正証明書を有償で提出してもらうのですが、たまにお客様の方からこのようなリアクションが来ます。

マスフローメーター（MFM）、マスフローコントローラー(MFC、MFMとMFCをマスフローと総称。) のダウンサイジングに関しての解説の最終章です。
MFCが出現して以来、そのダウンサイジングへの要求は絶えず、それに対する開発は色々と寄り道を強いられながらも、続いてきました。

マスフローメーター（MFM）、マスフローコントローラー(MFC、MFMとMFCをマスフローと総称。) のダウンサイジングに関して解説していきましょう。
今回からは半導体製造装置向けマスフローの更なるダウンサイジングに関してのお話です。

マスフローメーター（MFM）、マスフローコントローラー(MFC、MFMとMFCをマスフローと総称。) のダウンサイジングの歴史に関して解説していきましょう。