μL/minの微小流量液体計測を可能にする
SENSIRION CMOSens®
![](https://fc99881039.clvaw-cdnwnd.com/decedc006e3dafdf4e3f85bf934dbe05/200000031-2b5bf2d4f8/SLI03.jpg?ph=fc99881039)
新世代センサー SENSIRION CMOSensⓇデジタルマイクロチップ(US
PAT.7905140)搭載!直線性&温度補正、自己診断アルゴリズムに必要なデジタル回路をワンチップ化し、高感度、ワイドレンジ測定、高速応答を実現!
MEMSセンサーでありながら、流体には非接触!接液部は石英ガラスとPEEKで構成、MEMSセンサーは液体に触れずに流量計測を可能にしました!
ナノリッターレベルの超微少流量を計測できる、今までにない液体センサー!フルスケール80/1000/2000μl/min(毎マイクロリッター)をラインアップ
↓ViewerソフトをインストールしたPCとUSB接続で簡単に計測可能
【豆知識】
熱式流量センサーは流体の物性(比熱)により感度が変わります。水とIPA以外の流体にSLIシリーズを使用される場合、実流量を導き出すにはお客様で検量線を引かなくてはいけません。(重量法↓)
![](https://fc99881039.clvaw-cdnwnd.com/decedc006e3dafdf4e3f85bf934dbe05/200000047-5ac145bbb3/SLI04-6.jpg?ph=fc99881039)
コリオリ式MFM&MFCは質量流量を計測できますから、ハンドリングしやすく流量原器に最適です。
ぜひEZ-Japanにご相談を!
- センシリオン液体流量センサーの流量出力に関しての解説ページはこちらから↓