SENSIRION CMOSens®

新世代センサー　SENSIRION　CMOSensⓇデジタルマイクロチップ（US PAT.7905140)搭載！直線性＆温度補正、自己診断アルゴリズムに必要なデジタル回路をワンチップ化し、高感度、ワイドレンジ測定、高速応答を実現！

MEMSセンサーでありながら、流体には非接触！接液部は石英ガラスとPEEKで構成、MEMSセンサーは液体に触れずに流量計測を可能にしました！

ナノリッターレベルの超微少流量を計測できる、今までにない液体センサー！フルスケール80/1000/2000μl/min（毎マイクロリッター）をラインアップ

↓ViewerソフトをインストールしたPCとUSB接続で簡単に計測可能

【豆知識】

熱式流量センサーは流体の物性（比熱）により感度が変わります。水とIPA以外の流体にSLIシリーズを使用される場合、実流量を導き出すにはお客様で検量線を引かなくてはいけません。（重量法↓）

コリオリ式MFM&MFCは質量流量を計測できますから、ハンドリングしやすく流量原器に最適です。

ぜひEZ-Japanにご相談を！