μL/minの微小流量液体計測を可能にする

SENSIRION CMOSens®

新世代センサー SENSIRION CMOSensⓇデジタルマイクロチップ(US PAT.7905140)搭載!直線性&温度補正、自己診断アルゴリズムに必要なデジタル回路をワンチップ化し、高感度、ワイドレンジ測定、高速応答を実現!

MEMSセンサーでありながら、流体には非接触!接液部は石英ガラスとPEEKで構成、MEMSセンサーは液体に触れずに流量計測を可能にしました!

ナノリッターレベルの超微少流量を計測できる、今までにない液体センサー!フルスケール80/1000/2000μl/min(毎マイクロリッター)をラインアップ


↓ViewerソフトをインストールしたPCとUSB接続で簡単に計測可能

【豆知識】

熱式流量センサーは流体の物性(比熱)により感度が変わります。水とIPA以外の流体にSLIシリーズを使用される場合、実流量を導き出すにはお客様で検量線を引かなくてはいけません。(重量法↓)

コリオリ式MFM&MFCは質量流量を計測できますから、ハンドリングしやすく流量原器に最適です。

ぜひEZ-Japanにご相談を!

    センシリオン液体流量センサーの流量出力に関しての解説ページはこちらから↓