このマスフローでガスシステムは大きく変わる！
ウルトラ コンパクトマスフロー
IQ+FLOW ＆ LIQUI FLOW mini
ガスシステムのフットプリント削減に悩まされている方々には朗報です。
まずは下の写真を見てください。
1円玉と比べてもこのサイズ！これでマスフローコントローラー（ＭＦＣ）なんです。
W:40xD:20xH60mmのウルトラコンパクトマスフロー ブロンコスト・ジャパン(株)のIQ+FLOWです。
↑(株)SMC 金属ワンタッチ継手装着例
型式 : KQB2H07-32（1/4"チューブ→10-32UNF）
・MEMS流量センサー搭載のマスフローメータ（MFM）と小型流量制御バルブも内蔵したマスフローコントローラ（MFC）
流量測定＆制御レンジ：最小0.2～10 mL/min 最大 0.1～5 L/min[N]
応答速度 ＜300mSec.
EZ-JapanのテストベンチでIQ+FLOW AIR 50mln/min仕様をテストした際のFLOW PLOTのスクリーンショット。
20%→50%→20%→80%→20%→100%→5%と設定信号を10秒おきに可変した際のバルブ電圧、流量信号の関係が見て取れます。
小さくても性能はフルサイズに負けていません！
・センサー部を小型圧力センサーにしたAPC（Automatic Pressure Controller）タイプ （写真左）
入口圧制御タイプ/出口圧制御タイプあり
圧力測定＆制御レンジ：最小レンジ 2～100 kPa、最大レンジ 0.02～1 MPa
・そして液体用MFMまであります！こちらはLIQUI-FLOW mini（写真右）
流量測定レンジ：最小レンジ 1.5 ～75 mg/h 最大レンジ 12 ～ 600 mg/h (IPA, H2O)
装置、機器組み込み等のOEM用途である程度まとまった数量購入が年間で約束されれば、貴社オリジナルのマニホルドタイプMFCでのカスタマイズ設計を承ります。