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お世話になります。
EZ-Japanは2022年4月29日(金)~5月8日(日)まで、GW休暇とさせていただきます。

「1台の機器に流量センサー圧力センサーを搭載することは可能ですが、その両方で制御をすることはできませんよ。」というお話です。
なぜならばバルブをPID制御するに当たって、流量信号なのか?圧力信号なのか?どちらを優先するかを決めてやらないといけないからです。

本ブログの第132夜~133夜でMFCのライバルは?VS APCという解説をしました。
APCとはオートマチックプレッシャーコントローラー (Automatic Pressure Controller)という圧力センサーで測定した信号をベースに、流量制御バルブを可変させて、結果として圧力を制御する機器の事です。