BLOG 【EZ-Japan最新情報】

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
これからのMFCの流量制御バルブに今後求められるのは、高速応答と大差圧制御です。
高速化の需要は半導体製造装置で根強く、大差圧制御は高圧でガスをハンドリングするような一般工業分野で多いのです。

2023年始まって初めての真・MFC千夜一夜物語となります。
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
ピエゾアクチュエーターの真に優れた特性は何でしょうか？

2023年 明けましておめでとうございます。
お陰様で年末年始の関東地方は晴天に恵まれました。
しかしながら、北日本を始め各地で大雪による災害が発生しているようです。
被災されました方々には、謹んでお見舞い申し上げます。

2022年最後の真・MFC千夜一夜物語です。
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
前回はソレノイドアクチュエーターを用いた流量制御バルブのお話でした。

EZ-Japanは2022年12月28日(水)～1月9日(火)まで、年末年始休暇とさせていただきます。
つきましてはEZ-Japan BLOG更新は12月27日(火)が年内最後となる予定です。
年明けは1月10日(火)の更新からとなります。

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
MFCに用いられるアクチュエーターの復習として前回はサーマルアクチュエーターのお話でした。

マスフローコントローラー(以下MFC)の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
下図にあるような自動流量制御のフローで、調整計からの操作量（MV）でコントロールする自動制御弁がありますが、MFCでは流量制御バルブがそれに当たります。

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
下図にMFCの流量制御の仕組みを示します。

今回からマスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
MFCは流量センサーと流量制御バルブ、そして調整計である制御系で成り立つ流量自動制御を目的とした特殊な機器です。

今週の更新はお休みさせて頂きます。
実は10月に保護した子猫が可愛い盛りで・・・