なぜ半導体製造装置では多くのMFCが使われているの?
MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題"Decoのマスフロー徒然日記"です。
さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。
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MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題"Decoのマスフロー徒然日記"です。
さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
最後のお話はMFCとMFMの応答性に関してです。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
MFCとAPC(Automatic Pressure Controller)の話が出たので、おまけで供給圧制御型APCと背圧制御型APCの変わり種ブロンコスト(Bronkhorst High-Tech B.V.)のP-800シリーズに関してお話しておきましょう。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
MFCとAPC(Automatic Pressure Controller)の話が出たので、このお話の最後におまけでAPCに関してもう少しお話しておきましょう。
Bronkhorst, the low-flow specialists という動画が上がっています。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)、マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。