真・MFC千夜一夜物語 第516夜 MACH ONEって知ってるかい? その1

2026年04月28日

本ブログでは質量流量計(熱式流量計、コリオリ式流量計)であり流量をアナログ信号やデジタル信号で出力するマスフローメーター(以下MFM)や、流量信号を基に流量制御を行うマスフローコントローラー(以下MFC)及びその応用技術での流体制御を紹介しています。
今回からはDeco個人の知識欲が動機となって、ある製品を題材にして書かせてもらいます。

半導体製造装置市場向けで注目を集めている"圧力式"と称するMFCに関してはこのブログで都度解説してきました。
半導体向けMFCの分野で、熱式に代わるものとして圧力式が注目されるようになって久しいのですが、その黎明期に咲いた仇花(失礼!)的な存在が今回から紹介する"MACH ONE"(当時の発売元はアドバンスドエナジージャパン株式会社、既に廃番)というMFCです。
大変ユニークな発想で作られており、フローコントローラーというよりはフロージェネレーター的な機器として考えられたのではないかとDecoは想像しています。
今回から取り上げるこの奇妙なMFCに関して、より詳細情報を提供してもらえる方が現れてくたら・・・と、ひそかに期待しています。
それくらい資料が無い製品なのです・・・

MACH ONE 出典:アドバンスドエナジージャパン株式会社の当時のカタログより

【お知らせ】
次週5/5(火)の更新は、ゴールデンウィークの連休中ということで、お休みさせていただきます。
更新再開は5/12(火)からということで、こちらも宜しくお願いします。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan & Safe TechnoloGy

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