EZ-Japan最新情報

久しぶりのMFC豆知識のコーナーです。今使っているマスフローコントローラー（MFC）が古くなってきたし、新しいMFCへ置き換えを検討しえて、MFCメーカーさんに見積もらおうとしたら、「面間寸法がわかりませんか？」と言われてしまったことありませんか？

前回は流量設定信号（SV）が０以外のある値でMFCに入力された状態で、ガスの供給が遮断された場合、MFCの調整計はSV＞流量信号（PV）の状態をSV=PVとすべく、バルブ制御信号（MV）を増やす為、バルブ開度最大でマスフローコントローラー（MFC）が待機してしまい、ガスを導入時に大きなガスサージを下流で発生させるトラブルとその対処法を解説しました。

流量設定信号（SV）が０以外のある値でMFCに入力された状態で、何らかの理由でガスの供給が遮断された場合、MFCの調整計はSV＞流量信号（PV）の状態をSV=PVとすべく、バルブ制御信号（MV）を増やしますが、
当然SV＞PVは解消されないので、バルブ開度最大でMFCが待機してしまい、いざガスを導入すると、全開で待機していたMFCの流量制御弁をすり抜けたガスが大きなガスサージを下流で発生させるトラブルに対しての対策は簡単です。