真・MFC千夜一夜物語 第468話 MGMRを正しく理解する その5
2025年03月18日
本ブログでは質量流量計(熱式流量計、コリオリ式流量計)であり流量をアナログ信号やデジタル信号で出力するマスフローメーター(以下MFM)や、流量信号を基に流量制御を行うマスフローコントローラー(以下MFC)及びその応用技術での流体制御を紹介しています。
この章では"マルチガス・マルチレンジ(以下MGMR)MFC"の解説を再び行っています。