MFC千夜一夜物語

新・MFC千夜一夜物語

真・MFC千夜一夜物語
マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>

      
  
形を変え、場所を変え、語り継がれる流体制御技術の千と一夜の物語

                              by EZ-Japan ”Deco" 黒田 誠

TOP画像提供:ブロンコスト・ジャパン(株)

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久しぶりのMFC豆知識のコーナーです。今使っているマスフローコントローラー(MFC)が古くなってきたし、新しいMFCへ置き換えを検討しえて、MFCメーカーさんに見積もらおうとしたら、「面間寸法がわかりませんか?」と言われてしまったことありませんか?

前回は流量設定信号(SV)が0以外のある値でMFCに入力された状態で、ガスの供給が遮断された場合、MFCの調整計はSV>流量信号(PVの状態をSV=PVとすべく、バルブ制御信号(MV)を増やす為、バルブ開度最大でマスフローコントローラー(MFC)が待機してしまい、ガスを導入時に大きなガスサージを下流で発生させるトラブルとその対処法を解説しました。

流量設定信号(SV)が0以外のある値でMFCに入力された状態で、何らかの理由でガスの供給が遮断された場合、MFCの調整計はSV>流量信号(PV)の状態をSV=PVとすべく、バルブ制御信号(MV)を増やしますが、
当然SV>PVは解消されないので、バルブ開度最大でMFCが待機してしまい、いざガスを導入すると、全開で待機していたMFCの流量制御弁をすり抜けたガスが大きなガスサージを下流で発生させるトラブルに対しての対策は簡単です。