真・MFC千夜一夜物語 第388話 流量制御バルブとアクチュエーター その8
2023年01月31日
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関するお話の最終回です。
最後はMFCの流量制御バルブに今後求められる大差圧条件での流量制御のお話です。
TOP画像提供:ブロンコスト・ジャパン(株)
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関するお話の最終回です。
最後はMFCの流量制御バルブに今後求められる大差圧条件での流量制御のお話です。
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
これからのMFCの流量制御バルブに今後求められるのは、高速応答と大差圧制御です。
高速化の需要は半導体製造装置で根強く、大差圧制御は高圧でガスをハンドリングするような一般工業分野で多いのです。
2023年始まって初めての真・MFC千夜一夜物語となります。
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
ピエゾアクチュエーターの真に優れた特性は何でしょうか?