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MFCで液化ガスが再液化した場合の対応をお話ししてきました。
液化しないようにするには、MFCを低圧損構造にして、狭い空間から広い空間に液化ガスが抜ける際に生じる"断熱膨張"を食い止める事が重要です。

マスフローコントローラー(MFC)内部で液化しないようにするには、①温度を上げる、②圧力を下げる の２つです。
今回は②圧力を下げるのお話をしましょう。

最近、Web-MTG等でご質問頂く内容で、これは！っと思ったものをご紹介しておきますね。
マスフローコントローラーの場合、機器の構成は以下の図のようになっているものがほとんどです。