MFC千夜一夜物語

新・MFC千夜一夜物語

真・ＭＦＣ千夜一夜物語
マスフロー千夜一夜物語＜質量流量計の基礎＞

　　　　　　
　　
形を変え、場所を変え、語り継がれる流体制御技術の千と一夜の物語

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　by　EZ-Japan ”Deco" 黒田 誠

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真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第387話　流量制御バルブとアクチュエーター　その7

2023年01月24日

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
これからのMFCの流量制御バルブに今後求められるのは、高速応答と大差圧制御です。
高速化の需要は半導体製造装置で根強く、大差圧制御は高圧でガスをハンドリングするような一般工業分野で多いのです。