BLOG 【EZ-Japan最新情報】

寒い冬場のMFC（マスフローコントローラー）やMFM(マスフローメーター)は熱式センサーの暖機運転を念入りにというお話です。
そして周囲にあってMFC以上に冷え切ったものが何なのかという話は、もう少し後で触れますね。（じらしますね・・・）

寒いですねぇ・・・
Decoは2年前の心不全からの多臓器不全での入院以降、痩せたせいか冬の寒さがきつく感じるようになってしまいました。
ではマスフローコントローラー（以下MFC）はどうでしょうか？

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関するお話の最終回です。
最後はMFCの流量制御バルブに今後求められる大差圧条件での流量制御のお話です。

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
これからのMFCの流量制御バルブに今後求められるのは、高速応答と大差圧制御です。
高速化の需要は半導体製造装置で根強く、大差圧制御は高圧でガスをハンドリングするような一般工業分野で多いのです。

2023年始まって初めての真・MFC千夜一夜物語となります。
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
ピエゾアクチュエーターの真に優れた特性は何でしょうか？

2023年 明けましておめでとうございます。
お陰様で年末年始の関東地方は晴天に恵まれました。
しかしながら、北日本を始め各地で大雪による災害が発生しているようです。
被災されました方々には、謹んでお見舞い申し上げます。

2022年最後の真・MFC千夜一夜物語です。
マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
前回はソレノイドアクチュエーターを用いた流量制御バルブのお話でした。

EZ-Japanは2022年12月28日(水)～1月9日(火)まで、年末年始休暇とさせていただきます。
つきましてはEZ-Japan BLOG更新は12月27日(火)が年内最後となる予定です。
年明けは1月10日(火)の更新からとなります。

マスフローコントローラー(以下MFC) の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
MFCに用いられるアクチュエーターの復習として前回はサーマルアクチュエーターのお話でした。

マスフローコントローラー(以下MFC)の流量制御を司る流量制御バルブとそのアクチュエーターに関して再び解説していきましょう。
下図にあるような自動流量制御のフローで、調整計からの操作量（MV）でコントロールする自動制御弁がありますが、MFCでは流量制御バルブがそれに当たります。