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久しぶりのMFC豆知識のコーナーです。
マスフローコントローラー（MFC）とは何でしょうか？

実は11/15のNMIJ流量計測クラブの年会での講演でもお話しさせて頂いたのですが、マスフローメーター(MFM）が純粋な質量流量計、つまり流量計なのに対して、MFCは複雑なのです。

今回は質量流量計に対して体積流量計の解説編として、面積式流量計、差圧式流量計、カルマン渦流量計、タービン式流量計、超音波式流量計、電磁式流量計をゲストに招いて、そのさわりの部分の解説を行ってきました。

電磁式流量計は、ファラデーの電磁誘導の法則「磁界の中を導電性が動くと、その物体内に起電力が発生する」を応用した流量計です。

マスフロー千夜一夜物語＜質量流量計の基礎＞の連載にてお世話になっている日本工業出版(株)主催の 日工セミナー2019「微小流量計測の動向と選定事例」 で、微小流量向け質量流用計解説のお時間を頂き、講師を務めさせていただく事になりました。

超音波とは「周波数が2万ヘルツ以上の､人間の耳には音として聞こえない周波数をもつ音波｣のことですね？
これを利用した流量計が超音波式流量計です。

流れの中に翼車をおくと、流速にほぼ比例した速度で回転します。
この回転数を検出して流量を求めるのがタービン式流量計です。

渦式流量計は、管流路に置かれた渦発生体から生じるカルマン渦のストローハル数を利用するので、カルマン渦流量計 とも呼ばれます。
（カルマン渦流はT・フォン・カルマン博士の命名です。）

差圧式流量計に関しては、圧力式マスフロー（MFCとMFMの総称）として、この連載でも解説しています。
測定原理はベルヌーイの定理 を基本として導き出されます。
ベルヌーイの定理とは エネルギー保存則のことです。

面積式流量計は、流量計の入門器であり、元祖的な扱いを受けることが多い流量計です。
一般的には面積式と呼ばれることは少なく、フロート式流量計、ガラス管流量計、フローメーター、パージメーター等、多彩な呼称で呼ばれることが多いですね。