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久しぶりのMFC豆知識のコーナーです。
マスフローコントローラー(MFC)とは何でしょうか?

実は11/15のNMIJ流量計測クラブの年会での講演でもお話しさせて頂いたのですが、マスフローメーター(MFM)が純粋な質量流量計、つまり流量計なのに対して、MFCは複雑なのです。