BLOG 【EZ-Japan最新情報】

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MFC豆知識です。
「ガス用のマスフローコントローラー(MFC)オートマチックプレッシャーコントローラー(APC)に水分が混入してしまった!どうしたらいいか?」という御質問をよく頂きます。
MFC千夜一夜物語でも解説を行っているのですが、豆知識でもその対応をお話ししましょう。

2024年、あけましておめでとうございます。
本年も本BLOGを宜しくお願いいたします。
年明けから令和6年能登半島地震、そして羽田の航空機事故と続きました。
犠牲になられた方々、そのご家族にお悔やみ申しげますとともに、
被災された方々が一日でも早く元の生活に戻れるよう祈っております。
わずかな金額ですが、EZ-Japanからも被災地への寄付をさせて頂きました。

EZ-Japanは、2023年12月29日(金)午後より1月8日(月)まで、年末年始休暇とさせていただきます。
それに伴い次回のEZ-Japan BLOG更新は、年明け1/9日(火)の更新からとなります。

Decoのマスフロー徒然日記です。
2023年も残り1か月を切りました。
皆さんあわただしく、お仕事や学業に励んでおられるのではないでしょうか?
年の瀬に申し訳ないのですが、徒然日記というか、少しDecoの愚痴に付き合って頂けますでしょうか?

MFC千夜一夜物語のブログの中休み、閑話休題"Decoのマスフロー徒然日記"です。
さて、半導体製造装置向けMFCに関するご質問を最近よく頂きます。
TSMCの熊本進出やRapidusの千歳への投資等、半導体に関する話題が花盛りだからなのかもしれませんね。

Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
MFCとAPC(Automatic Pressure Controller)の話が出たので、おまけで供給圧制御型APCと背圧制御型APCの変わり種ブロンコスト(Bronkhorst High-Tech B.V.)のP-800シリーズに関してお話しておきましょう。

Decoが見聞してきた中で、マスフローメーター(MFM)マスフローコントローラー(MFC)の使用方法に関して、一般的に大きな誤解があるなぁと思ったものを取り上げてお話ししていきたいと思います。
MFCとAPC(Automatic Pressure Controller)の話が出たので、このお話の最後におまけでAPCに関してもう少しお話しておきましょう。