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久しぶりのMFC豆知識のコーナーです。今使っているマスフローコントローラー(MFC)が古くなってきたし、新しいMFCへ置き換えを検討しえて、MFCメーカーさんに見積もらおうとしたら、「面間寸法がわかりませんか?」と言われてしまったことありませんか?

前回は流量設定信号(SV)が0以外のある値でMFCに入力された状態で、ガスの供給が遮断された場合、MFCの調整計はSV>流量信号(PVの状態をSV=PVとすべく、バルブ制御信号(MV)を増やす為、バルブ開度最大でマスフローコントローラー(MFC)が待機してしまい、ガスを導入時に大きなガスサージを下流で発生させるトラブルとその対処法を解説しました。