真・MFC千夜一夜物語 第308話 MFCとは不思議な存在 その8

2020年03月24日

"マスフローコントローラー(MFC)とは不思議な存在"というタイトルで書いてきましたが、今回で一区切りになります。

流量センサーと、比例制御弁、そして調整弁をワンパッケージにして外部からの設定信号(SV)をもらうことで自動制御を行うというMFC独自性は、半導体製造装置のようなアンダー100SLM程度で、1/4~3/8インチ程度の配管で構成されるガスユニット上ではスペースメリットも大きく、有意義です。

ですが、他の計装関連の配管システム、特にもっと大流量を使用するプラント関連では、流量計と比例制御バルブは別個に配管上に存在しますし、調整計は遠く離れたPLC等の制御盤に組み込まれています。

この辺りを知っている計装畑の人から見ると、MFCは正に変わり者なのですね。

変わっていようとなかろうと、MFC=流量制御器としての役割さえ果たしてくれれば良いのですが、それができないならば、というかMFCという機器としては正常な制御を行おうとすることが、逆にシステム上はそれが仇となるならば、MFCという形態にこだわる理由は特にはない訳です。

果たしてMFCは装置の上流分岐バルブの切り替え時に生じる一次圧力変動による影響を受けない為に、わざわざ圧力センサーを積んで、完治した圧力信号から急峻な圧力変動を識別して、流量信号(PV)=SVとなるようにバルブ制御信号(MV)を可変させるという本来の機能に"待った"をかけるという仕組みで対応していくべきなのでしょうか?

その切り替えタイミングを知っている筈の装置側から、その指示を送ればいいだけではないのでしょうか?

さてMFCという風変わりで不思議な存在の未来像はどうあるべきなのでしょう?
焦らずじっくり考えて行けたらと思っています。
皆さんのお考えをお聞かせ頂けたら幸いです。

【あなたにMFCの夜が来る~真・MFC千夜一夜物語】by Deco EZ-Japan