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マスフロー千夜一夜物語＜質量流量計の基礎＞の連載にてお世話になっている日本工業出版(株)主催の 日工セミナー2019「微小流量計測の動向と選定事例」 で、微小流量向け質量流用計解説のお時間を頂き、講師を務めさせていただく事になりました。

超音波とは「周波数が2万ヘルツ以上の､人間の耳には音として聞こえない周波数をもつ音波｣のことですね？
これを利用した流量計が超音波式流量計です。

流れの中に翼車をおくと、流速にほぼ比例した速度で回転します。
この回転数を検出して流量を求めるのがタービン式流量計です。

渦式流量計は、管流路に置かれた渦発生体から生じるカルマン渦のストローハル数を利用するので、カルマン渦流量計 とも呼ばれます。
（カルマン渦流はT・フォン・カルマン博士の命名です。）

差圧式流量計に関しては、圧力式マスフロー（MFCとMFMの総称）として、この連載でも解説しています。
測定原理はベルヌーイの定理 を基本として導き出されます。
ベルヌーイの定理とは エネルギー保存則のことです。

面積式流量計は、流量計の入門器であり、元祖的な扱いを受けることが多い流量計です。
一般的には面積式と呼ばれることは少なく、フロート式流量計、ガラス管流量計、フローメーター、パージメーター等、多彩な呼称で呼ばれることが多いですね。

流量を測定する目的で使用されるのが「流量計」ですが、そもそも流量自体は物理標準ではないので、流れを支配する一つ、または複数のパラメータを計って、そこから流量値へ変換するものが「流量計」だと言えます。

さて、今回からマスフローコントローラ（MFC）、マスフローメータ（MFM）の属する質量流量計＝熱式流量計以外の流量測定方式に関してお話をしましょう。
その前に今回はまず大原則である「流量」というものに関するお話から始めます。

EZ-Japanは8/10(土）から18(日）まで夏季休暇を頂いております。

Decoは特定のフィールドバスや産業用イーサーネットの推進論者でも、逆にアンチでもありません。
おそらくマスフローメーカーや関係者のほとんどが同じく中立位置だと思います。