BLOG 【EZ-Japan最新情報】

前回はマスフローコントローラー（MFC）の応答性に関する定義をご説明しました。
比較する物差しが同じでないと意味がありませんからね。
それでなくてもMFCの応答性というスペックは、色んな誤解を生じてきたのです。

最近でこそあまり競わなくなったイメージがありますが、Decoが営業になった1990年代はMFCの応答性と精度の数字がどれだけ良いかを競う時代でした。

MFCで液化ガスが再液化した場合の対応をお話ししてきました。
液化しないようにするには、MFCを低圧損構造にして、狭い空間から広い空間に液化ガスが抜ける際に生じる"断熱膨張"を食い止める事が重要です。

マスフローコントローラー(MFC)内部で液化しないようにするには、①温度を上げる、②圧力を下げる の２つです。
今回は②圧力を下げるのお話をしましょう。

最近、Web-MTG等でご質問頂く内容で、これは！っと思ったものをご紹介しておきますね。
マスフローコントローラーの場合、機器の構成は以下の図のようになっているものがほとんどです。

はい、久しぶりのマスフロ徒然日記です。
今回のタイトルですが、これは初めてお客様の現場に行くDecoへ、当時のマスフローの師匠から投げかけられた言葉です。
「半導体関係の工場へ入る時は、床に透明な液体が漏れていても、ただの水だとは思うなよ！」という言葉でした。

8月も終わったというのに、まだまだ暑いですね。
今日は、少し変わったマスフロー？を紹介しましょう。
ブロンコスト・ジャパン（株）のMASS-VIEWシリーズです。

マスフローコントローラー(MFC)内部で液化が生じた際の対応に関してです。

半導体製造装置での流量制御がマスフローコントローラー(MFC)の主な役割になります。