真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第531夜　APC　vs　MFC　その3

本ブログでは質量流量計（熱式流量計、コリオリ式流量計）であり流量をアナログ信号やデジタル信号で出力するマスフローメーター（以下MFM）や、流量信号を基に流量制御を行うマスフローコントローラー（以下MFC）及びその応用技術での流体制御を紹介しています。
MFCの派生分野であるAutomatic Pressure Controller(以下APC）に関しての解説を再び行っていきます。

レギュレーターに対してAPCの制御方法はMFCと同じです。
流体の圧力を測定し、予め設定された圧力値になるように制御バルブ開度を制御し、流量を送り込む、引き出す事で、結果として圧力を制御しているか、の差です。
これを理解してないと、レギュレーターで設定圧に保っている容器の排気スピードをいくら変えても圧が復元するといった現象が起きて、戸惑うことになります。
レギュレーターも低圧側の部屋の圧力が下がったら、高圧側からガスを移動させて圧を上げているのだから、その意味ではやっていることは一緒なのです。
その動作がよりダイレクトなのがレギュレーターだと言えます。
レギュレーターを介して流体は移動しているということを忘れてしまうと、こういった現象が理解できなくなってしまうのです。
そしてレギュレーターには払い出せる流量限度があることも頭に入れてガス系を設計しなくてはなりません。

PI-MFCの解説でよく使っているこの図を見てください。
このような複数ラインのMFCを、１台稼働→全数稼働へ切り替えると、レギュレーターの払い出し量が不足して、結果として圧力がドロップする現象が起き、MFCはそれを流量センサーで拾って流量制御が乱れてしまうといった現象は、このレギュレーターの払い出し量への配慮が不足しているガス系で生じやすいのです。

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