真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第523夜　MFM　vs　MFC　その1

本ブログでは質量流量計（熱式流量計、コリオリ式流量計）であり流量をアナログ信号やデジタル信号で出力するマスフローメーター（以下MFM）や、流量信号を基に流量制御を行うマスフローコントローラー（以下MFC）及びその応用技術での流体制御を紹介しています。
今回はMFM vs MFCと銘打って、直接対決といきましょう。

MFMとは熱式もしくはコリオリ式、圧力式・・・といった流量センサーを搭載した流量計のことを言います。

MASS FLOW＝質量流量という定義からすれば質量流量計に分類される熱式とコリオリ式のみに限定されるのが本義です。
MFCとはMFMの流量測定機能に流量調整弁と調整計をワンパッケージにして自動で流量制御を行えるようにした製品のことでしたね？

つまりMFMに自動流量制御機能を追加したのがMFCなのですから、この二つを対決させようにも流量測定器と流量自動制御器の対決となり、いささか無理なマッチメイクをした異種格闘技戦となってしまうのです。
MFMのような自身で流量調整機能を持たず、流量を測る機能に特化した機器の場合は、逆にニードルバルブのような手動流量調整弁とのセットで用いられることが多いのです。

半導体製造装置での流量制御の主役はMFCですが、もっと広い分野で一般的に流体を制御する機器を取り扱っている方々には、流量制御デバイスとしては、むしろMFCよりもMFMと流量制御弁とのコンビの方に馴染みがあるかもしれません。それ故に今回はMFC対MFM＋流量制御弁というマッチメイクで進めたいと思っています。

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