真・ＭＦＣ千夜一夜物語　第351話　圧力式フローコントローラーの現状　その5

半導体製造装置市場向けで注目を集めている圧力式フローコントローラーに関する解説です。
各メーカーの圧力式フローコントローラーを俯瞰していってます。
解説にはDecoの主観が入っていますので、鵜吞みにせずに詳細は各メーカーさんに確認してくださいね！

③　日立金属　PS100シリーズ

日立金属(株)の圧力式フローコントローラー第1世代に当たるPS100シリーズは、堀場エステックの"CRITERION"と同じくラミナーフロー方式の流量測定原理を採用しています。
本製品の構造上の大きな特長は、機械式のレギュレーターを入口部に設置していることです。
これは他に例を見ません。
レギュレーターで上流圧力変動を抑え、下流側は流量制御バルブが絞りの効果を発揮して同じく圧力変動影響を受けない為、測定時に非常に高い安定性を維持できると期待できます。P2が真空下で二次側圧力変動に晒され続ける構造よりも、ラミナーフロー流量測定原理を忠実に再現できる点で評価できるとDecoは考えます。

PＳ100シリーズは理論的には正しい構成を取っています。
しかし、その利点を裏返すと、搭載する機器、部品点数が多くなることで構造が複雑になるという事です。
・・・という事は、コストダウンが難しいのではないのかな？いう点が気にはなります。

でも、同社の圧力式フローコントローラーの一作目としては、非常に手堅くまとめられている点で好感が持てます。
Decoの知る限り、機械式レギュレーターの設計、生産経験は同社には無かった筈ですが、よく開発に踏み切ったものだと感心しました。
レギュレーター部を含めた性能評価がここ数年で進んできて、更なる進化を見せてくる可能性に期待したいですね！

真・MFC千夜一夜物語　2021年の更新は今回までです。
次回更新は、年明け1/11(火)の予定です。
2022年もEZ-Japan BLOGを、宜しくお願いいたします。

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