MFC千夜一夜物語

新・MFC千夜一夜物語

真・MFC千夜一夜物語
マスフロー千夜一夜物語<質量流量計の基礎>

      
  
形を変え、場所を変え、語り継がれる流体制御技術の千と一夜の物語

                            by EZ-Japan ”Deco" 黒田 誠

TOP画像提供:ブロンコスト・ジャパン(株)

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マスフローコントローラ(以下MFC)の歴史に関して振り返っていきたいと思います。
DecoがMFCメーカーから離れ、一介のコンサルタント、エヴァンジェリストとして過ごして10年になります。
これを期にMFCという不思議な工業製品の技術動向をその歴史を俯瞰しながらまとめて行きたいと思います。

今回からマスフローコントローラ(以下MFC)の歴史に関して振り返っていきたいと思います。
このブログも425回目です。
ここまでお読みいただいている読者の皆様には大変感謝しております。
DecoがMFCメーカーから離れ、一介のコンサルタント、エヴァンジェリストとして過ごして10年になります。
これを期にMFCという不思議な工業製品の技術動向をその歴史を俯瞰しながらまとめて行きたいと思いました。

章を改めて巻線型熱式流量センサーを搭載したマスフローメーター(MFM)の応答がマスフローコントローラー(MFC)のそれよりも決して早くはない理由のお話です。
流体に腐食性ガス、毒性、可燃性ガスが多い半導体製造分野では、やはり流体に非接触である巻線型流量センサーが好まれます。
しかし、流体に直接触れない巻線型は応答性の面で不利な方式です。
巻線型流量センサーを搭載したMFCはどうやって応答性能を向上させたのでしょうか?